深入解析薄膜干涉:从物理本源到算法仿真
薄膜干涉(Thin Film Interference)不仅是物理学中最迷人的现象之一——赋予了肥皂泡斑斓的色彩和昆虫翅膀金属般的光泽——更是现代精密光学的基石。从相机镜头上的抗反射涂层(AR Coating)到光刻机中的极紫外反射镜,这一机制支撑着现代光电子产业的半壁江山。
本文将摒弃浅尝辄止的现象描述,从光波叠加的原理出发,推导干涉条件的数学本质,进而引入处理复杂多层膜系统的传输矩阵法(Transfer Matrix Method, TMM),最后通过 Matlab 代码演示如何仿真并优化一个光学薄膜系统。
1. 物理本源:光波的叠加与相位
要理解薄膜干涉,我们必须回归光的波动性。当光从一种介质传播到另一种介质时,在界面处会发生反射和折射。薄膜干涉的核心在于:从薄膜上下两个表面反射的光波,在空间中重叠并发生干涉。
1.1 光程差(Optical Path Difference, OPD)
假设一束单色光以入射角 $\theta_1$ 照射到折射率为 $n_2$、厚度为 $d$ 的薄膜上,薄膜上下方的介质折射率分别为 $n_1$ 和 $n_3$。

光在薄膜内部传播的几何路径长度并非简单的 $2d$,而是经过折射角 $\theta_2$ 修正后的路径。通过几何推导,上下两个表面反射光束的光程差 $\Delta$ 为:
$$
\Delta = 2 n_2 d \cos(\theta_2)
$$
1.2 半波损失(Half-wave Loss)
除了几何路程引起的相位差,我们必须考虑界面反射引起的相位突变。根据菲涅尔方程(Fresnel Equations):
- 光疏介质射向光密介质($n_1 < n_2$):反射光发生 $\pi$(即 $180^\circ$)的相位突变,相当于增加了 $\lambda/2$ 的光程。
- 光密介质射向光疏介质($n_1 > n_2$):反射光无相位突变。
因此,对于最常见的空气($n_1$)-薄膜($n_2$)-玻璃($n_3$)结构,且 $n_1 < n_2 < n_3$ 时,上下两个界面均发生半波损失,相对相位差抵消。但在 $n_1 < n_2 > n_3$ 的情形下(如肥皂泡),只有上表面发生半波损失。
1.3 干涉条件:相消与相长的物理判据
干涉的本质是波的叠加。为了确定薄膜表面呈现的是亮色(增强)还是暗色(抵消),我们必须从**总光程差(Total Optical Path Difference, $\delta$)**入手。
1.3.1 总光程差的构成
总光程差 $\delta$ 由两部分组成:几何路径引起的光程差,以及界面反射引起的相位突变(即半波损失)带来的附加光程差。
$$
\delta = \delta_{geom} + \delta_{phase}
$$
几何光程差 ($\delta_{geom}$):
光在折射率为 $n_2$ 的薄膜中往返一次,考虑到折射角 $\theta_2$,其几何光程差为:
$$
\delta_{geom} = 2 n_2 d \cos(\theta_2)
$$相位附加光程差 ($\delta_{phase}$):
这取决于上下两个界面反射性质的差异。- 若两个界面都发生(或都不发生)半波损失,则相对相位差为 0,$\delta_{phase} = 0$。
- 若仅有一个界面发生半波损失,则相对相位差为 $\pi$,相当于光程增加了半个波长,$\delta_{phase} = \pm \frac{\lambda}{2}$。
1.3.2 核心干涉判据
无论具体的介质如何,波的叠加原理给出了永恒不变的判据:
干涉相长 (Constructive Interference):
当总光程差是波长的整数倍时,波峰与波峰叠加,反射光最强(亮纹)。
$$
\delta = m\lambda \quad (m=1, 2, 3…)
$$干涉相消 (Destructive Interference):
当总光程差是半波长的奇数倍时,波峰与波谷叠加,反射光最弱(暗纹)。
$$
\delta = (m + \frac{1}{2})\lambda \quad (m=0, 1, 2…)
$$
1.3.3 两种典型介质结构的推导
结合上述判据与 $\delta_{phase}$ 的不同,我们可以用两个实际案例展开来看:
场景 A:相位异号层叠(如:肥皂泡、油膜)
- 结构特征:$n_1 < n_2 > n_3$(中间折射率最大)。
- 相位分析:上表面反射有半波损失,下表面没有。$\delta_{phase} = \frac{\lambda}{2}$。
- 推导结果:
- 相长(亮):几何光程差需补偿那半个波长,凑成整数。
$$2 n_2 d \cos \theta_2 = (m + \frac{1}{2})\lambda$$ - 相消(暗):几何光程差本身即为整数波长,加上 $\frac{\lambda}{2}$ 后正好相消。
$$2 n_2 d \cos \theta_2 = m\lambda$$
- 相长(亮):几何光程差需补偿那半个波长,凑成整数。
场景 B:相位同号层叠(如:镜头增透膜 AR Coating)
- 结构特征:$n_1 < n_2 < n_3$(折射率逐层递增)。
- 相位分析:上下表面均发生半波损失,相对差值为 0。$\delta_{phase} = 0$。
- 推导结果:
- 相长(亮):几何光程差直接等于整数波长。
$$2 n_2 d \cos \theta_2 = m\lambda$$ - 相消(暗):几何光程差需提供半个波长的差值。
$$2 n_2 d \cos \theta_2 = (m + \frac{1}{2})\lambda$$
- 相长(亮):几何光程差直接等于整数波长。
1.3.4 总结与能量守恒
为了方便工程应用,我们可以将上述结论总结如下表:
| 物理场景 | 折射率关系 | 界面相变差 | 干涉相消 (暗) 条件 (Destructive) |
干涉相长 (亮) 条件 (Constructive) |
|---|---|---|---|---|
| 增透膜 | $n_1 < n_2 < n_3$ | $0$ | $2n_2d\cos\theta_2 = (m+\frac{1}{2})\lambda$ | $2n_2d\cos\theta_2 = m\lambda$ |
| 肥皂泡 | $n_1 < n_2 > n_3$ | $\lambda/2$ | $2n_2d\cos\theta_2 = m\lambda$ | $2n_2d\cos\theta_2 = (m+\frac{1}{2})\lambda$ |
2. 进阶理论:传输矩阵法 (Transfer Matrix Method)
对于简单的单层膜,几何推导尚能胜任。但面对现代光学中动辄几十层的复杂膜系(如高反膜、截止滤光片),我们需要一种能够系统化处理多重界面反射的数学工具。
这就是传输矩阵法(TMM)。它的核心思想是将每一层薄膜视为一个线性变换矩阵,通过矩阵连乘,将复杂的多层结构简化为一个单一的“等效界面”。
2.1 核心概念:光学导纳 (Optical Admittance)
在深入矩阵之前,我们必须先理解导纳 (Admittance)。在电学中,导纳是阻抗的倒数($Y = 1/Z$),描述介质导通电流的能力;在波动光学中,导纳描述介质对光波(电磁场)的响应能力。
2.1.1 从物理导纳到光学导纳
根据麦克斯韦方程组,绝对导纳定义为磁场强度 $H$ 与电场强度 $E$ 的比值:
$$Y = \frac{H}{E} = \sqrt{\frac{\epsilon}{\mu}}$$
在真空(自由空间)中:
介电常数 $\epsilon_0$ 和磁导率 $\mu_0$ 决定了真空的特性阻抗。真空导纳是一个物理常数:
$$\mathcal{Y}_0 = \sqrt{\frac{\epsilon_0}{\mu_0}} \approx \frac{1}{377} , \text{S} , (\text{西门子})$$
(注:这里的 S 代表西门子 Siemens,即 $\Omega^{-1}$。但在光学工程中,为了避免繁琐的常数运算,我们通常不直接使用这个带单位的数值。)在介质中:
对于绝大多数光学材料(非磁性,$\mu_r \approx 1$),其绝对导纳为:
$$Y = \sqrt{\frac{\epsilon_0 \epsilon_r}{\mu_0}} = \sqrt{\epsilon_r} \mathcal{Y}_0 = n \mathcal{Y}_0$$
归一化处理:
为了计算方便,我们定义光学导纳 $\eta$ 为绝对导纳与真空导纳的比值。这样,光学导纳就变成了一个无量纲的量,数值上等于折射率:
$$\eta_{norm} = \frac{Y}{\mathcal{Y}_0} = n$$
2.1.2 倾斜入射时的修正导纳
当光以角度 $\theta$ 倾斜入射时,我们需要考虑边界条件。电磁场理论要求:只有平行于界面的场分量(切向分量)才是连续的。
因此,我们定义的“有效导纳”必须是切向磁场 $H_{\parallel}$ 与切向电场 $E_{\parallel}$ 之比。由于电场和磁场相互垂直,当光线倾斜时,E 和 H 投影到界面上的分量会发生不同的变化,导致 S 偏振和 P 偏振的公式不同。
S-偏振 (TE波):
电场 $E$ 垂直于入射面(完全平行于界面),而磁场 $H$ 倾斜。- 切向电场:$E_{\parallel} = E$
- 切向磁场:$H_{\parallel} = H \cos \theta$
- 修正导纳:
$$\eta_s = \frac{H_{\parallel}}{E_{\parallel}} = \frac{H \cos \theta}{E} = \eta_{norm} \cos \theta = n \cos \theta$$
P-偏振 (TM波):
磁场 $H$ 垂直于入射面(完全平行于界面),而电场 $E$ 倾斜。- 切向磁场:$H_{\parallel} = H$
- 切向电场:$E_{\parallel} = E \cos \theta$
- 修正导纳:
$$\eta_p = \frac{H_{\parallel}}{E_{\parallel}} = \frac{H}{E \cos \theta} = \frac{\eta_{norm}}{\cos \theta} = \frac{n}{\cos \theta}$$
物理直觉总结:
- 数值上:你可以简单地认为导纳就是折射率 $n$,只是根据角度做了 $\cos\theta$ 的修正。
- 物理上:导纳匹配($\eta_1 = \eta_2$)意味着没有反射。这也解释了为什么存在布鲁斯特角 (Brewster’s Angle):对于 P 偏振,当 $\eta_{p1} = \eta_{p2}$ 即 $\frac{n_1}{\cos\theta_1} = \frac{n_2}{\cos\theta_2}$ 时,反射率降为 0。
2.2 单层薄膜的特征矩阵
根据麦克斯韦方程组,电磁波在跨越介质边界时,电场切向分量 $E$ 和磁场切向分量 $H$ 必须保持连续。
想象光波穿过第 $j$ 层薄膜。我们可以建立该层“输入表面”的场 $(E_{in}, H_{in})$ 与“输出表面”的场 $(E_{out}, H_{out})$ 之间的线性关系:
$$
\begin{bmatrix}
E_{in} \
H_{in}
\end{bmatrix}
M_j
\begin{bmatrix}
E_{out} \
H_{out}
\end{bmatrix}
$$
这里的 $M_j$ 就是第 $j$ 层的特征矩阵:
$$
M_j = \begin{bmatrix}
\cos \delta_j & \frac{i}{\eta_j} \sin \delta_j \
i \eta_j \sin \delta_j & \cos \delta_j
\end{bmatrix}
$$
其中:
- $i$ 是虚数单位(代表相位的旋转)。
- $\delta_j = \frac{2\pi}{\lambda} n_j d_j \cos \theta_j$ 是光穿过该层产生的相位厚度。
2.3 系统总矩阵与“等效介质”
对于一个由 $N$ 层薄膜堆叠而成的系统,光依次穿过每一层。根据线性代数的结合律,整个系统的总传输矩阵 $M$ 就是各层矩阵的乘积:
$$
M = M_1 \cdot M_2 \cdot \dots \cdot M_N = \begin{bmatrix}
m_{11} & m_{12} \
m_{21} & m_{22}
\end{bmatrix}
$$

这一步的物理意义极其重大:它意味着,无论中间有多少层复杂的薄膜,我们都可以把它们看作一个黑盒。这个黑盒把最底层的基底(Substrate)包裹起来,形成了一个具有等效导纳 $Y$ 的新虚拟介质。
我们可以通过总矩阵计算这个系统的等效导纳 $Y$。假设基底的导纳为 $\eta_{sub}$,则:
$$
\begin{bmatrix}
E_{total} \
H_{total}
\end{bmatrix}
= M
\begin{bmatrix}
1 \
\eta_{sub}
\end{bmatrix}
$$
(注:这里假设基底处的电场归一化为 1,则磁场为 $\eta_{sub}$)
由此得到系统的等效导纳 $Y$ 为输入端的磁场与电场之比:
$$
Y = \frac{H_{total}}{E_{total}} = \frac{m_{21} + m_{22}\eta_{sub}}{m_{11} + m_{12}\eta_{sub}}
$$
2.4 计算透射率 (T) 与反射率 (R)
一旦求出了这个等效导纳 $Y$,复杂的多层膜问题瞬间退化为最简单的单界面反射问题:光从入射介质(导纳 $\eta_0$)射向一个导纳为 $Y$ 的等效介质。
1. 反射系数 (Reflection Coefficient, $r$)
这是反射波振幅与入射波振幅的比值:
$$
r = \frac{\eta_0 - Y}{\eta_0 + Y}
$$
2. 能量反射率 (Reflectance, $R$)
这是我们肉眼看到或探测器测到的能量比率:
$$
R = |r|^2 = \left( \frac{\eta_0 - Y}{\eta_0 + Y} \right) \overline{\left( \frac{\eta_0 - Y}{\eta_0 + Y} \right)}
$$
3. 能量透射率 (Transmittance, $T$)
如果薄膜介质没有吸收(消光系数 $k=0$),根据能量守恒:
$$
T = 1 - R
$$
如果存在吸收,则通过矩阵元直接计算透射系数 $t$ 更为准确:
$$
t = \frac{2\eta_0}{\eta_0(m_{11} + m_{12}\eta_{sub}) + (m_{21} + m_{22}\eta_{sub})}
$$
$$
T = \frac{\text{Re}(\eta_{sub})}{\text{Re}(\eta_0)} |t|^2
$$
至此,我们将复杂的多层膜物理过程,完全转化为了计算机擅长的矩阵运算。这就是 TMM 算法为何如此强大的原因。
3. 工程仿真:MATLAB 实现与可视化
理论必须通过实践来验证。MATLAB 凭借其原生的矩阵运算能力,是处理传输矩阵法(TMM)的最佳工具。在本节中,我们将从简单的单层抗反射膜入手,逐步进阶到复杂的多层高反膜系设计。
3.1 核心算法:通用光学求解器
首先,我们需要封装一个通用的计算函数。为了获得完整的物理图像,该函数将同时计算反射率 (R) 和透射率 (T)。
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3.2 仿真案例一:单层增透膜 (AR Coating) 分析
在这个案例中,我们将模拟经典的氟化镁 ($MgF_2$) 镀在玻璃上的场景。我们将完成两项任务:
- 光谱对比:直观展示镀膜前后,玻璃透光率的提升。
- 公差分析:通过扫描膜层厚度,生成反射率地形图,分析工艺误差对性能的影响。
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结果解读:
- 左图展示了“相消干涉”的威力:在设计中心波长 550nm 处,反射率显著下降。
- 右图则揭示了物理规律:深蓝色的低反射区域呈现倾斜状。这意味着,如果镀膜工艺变厚了(向上移动),最佳抗反射波长也会向红光方向移动(红移)。
3.3 仿真案例二:多层布拉格反射镜 (Bragg Mirror)
TMM 的真正强大之处在于处理多层膜。这里我们设计一个 分布布拉格反射镜 (DBR)。通过交替堆叠高折射率($n_H$)和低折射率($n_L$)材料,每层厚度均为 $1/4$ 波长,我们可以利用相长干涉制造出反射率接近 100% 的“完美镜子”。
- 材料:$TiO_2$ ($n_H=2.4$) 和 $SiO_2$ ($n_L=1.46$)
- 结构:玻璃基底 + 10 对 $(HL)$ + 空气
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仿真结果:
你将看到一个宽阔的**“高反平顶区” (Stopband)**。在这个波段内,光无法穿透薄膜,几乎被全反射。这就是激光器谐振腔镜片和高档介质反射镜的工作原理。通过简单地增加层数 $N$,我们可以让反射率无限接近 100%,这是金属反射镜无法做到的。
4. 逆向设计:基于梯度的优化 (Optimization)
在实际工程中,我们面临的往往是逆向问题:给定目标光谱(例如 400-700nm 全波段反射率 < 0.5%),求各层薄膜的最佳厚度。
对于 4 层宽带增透膜(BBAR),只要膜系结构设计合理,基于梯度的局部优化算法 fmincon 就足以找到完美的全局最优解,且速度极快。
4.1 核心策略:结构修正与多起点搜索
黄金法则:为了降低初始界面反射,最外层(接触空气层)必须是低折射率材料 (L)。
我们将采用 Air | L | H | L | H | Glass 的结构。如果错误地以高折射率 ($H$) 开头,优化器将极难收敛到 < 0.5% 的目标。
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4.2 结果分析

通过修正膜系结构顺序(让低折射率材料接触空气),我们极大地简化了优化难度。
- 收敛性:
fmincon能够迅速找到全局最优解。 - 性能达标:红色光谱曲线在 400-700nm 范围内呈现平滑的波浪状,且能够稳定压制在 0.5% 以下(通常能达到 0.2% - 0.3% 的平均水平)。
- 物理意义:这证明了在光学设计中,正确的物理直觉(First Principles)往往比单纯堆砌算法更重要。
5. 结语
从杨氏双缝的简单干涉到现代半导体光刻中的极紫外多层膜,薄膜干涉原理的应用跨度令人惊叹。通过第一性原理的物理推导,我们建立了微观电磁场与宏观反射率之间的联系;而借助传输矩阵法(TMM)和现代数值优化算法,我们将这一理论转化为了强大的工程设计工具。
这种从物理直觉到数学形式化,再到计算实现的过程,正是应用物理学和计算科学结合的最佳范例。